DIU01為XYZ三軸手動位移滑臺，采用交叉滾柱導(dǎo)軌與千分尺進給設(shè)計，實現(xiàn)超高精度三維空間定位。交叉滾柱導(dǎo)軌提供卓越的剛性和運動平穩(wěn)性，千分尺微調(diào)確保微米級（0.01mm/格）分辨率，適用于超精密光學(xué)對準(zhǔn)、微納加工、半導(dǎo)體檢測等高端領(lǐng)域。

一、產(chǎn)品特點

1、三軸獨立控制：

·X/Y/Z軸均采用交叉滾柱導(dǎo)軌，摩擦小、無間隙，重復(fù)定位精度±0.003mm。

·千分尺進給機構(gòu)，每格分辨率0.01mm，手感清晰，避免誤操作。

2、超高剛性結(jié)構(gòu)：

·交叉滾柱導(dǎo)軌抗傾覆能力極強，負(fù)載能力達(dá)10kg（單軸），動態(tài)穩(wěn)定性優(yōu)于線性滾珠導(dǎo)軌。

·整體鑄鐵基座，抗震性強，長期使用不變形。

3、模塊化擴展：

·頂部與側(cè)面預(yù)留標(biāo)準(zhǔn)M6螺紋孔，兼容光學(xué)元件、顯微夾具等附件。

·可搭配旋轉(zhuǎn)臺或傾斜臺組成多自由度系統(tǒng)。

二、性能參數(shù)

三、對比競品