1、流量控制。
一些應(yīng)用程序使用具有恒定質(zhì)量流量的流量調(diào)節(jié)器長時間。典型的例子包括人工氣氛的生產(chǎn),例如半導(dǎo)體制造在前端進行涂層和在后端進行鍵合所需的那些。這種類型的負載對于壓電閥來說很容易,因為它涉及一個幾乎沒有能量消耗的穩(wěn)定狀態(tài)。但對于脈寬調(diào)制開關(guān)閥來說,這將是一個極其沉重的負載無論是在能量方面還是在機械方面。
2、處理易碎工件。
移動敏感工件的一種方法是雙作用氣缸的速度控制器。這使氣缸可以執(zhí)行速度控制的無沖擊運動。它需要四個壓電閥連接到一個控制器,形成一個可以連接到雙作用氣缸的系統(tǒng)。通過保持恒定的氣缸排氣流量來控制速度。這種低成本的系統(tǒng)不需要昂貴的位移編碼器,并且可以執(zhí)行平穩(wěn)的啟動和制動。
3、應(yīng)用粘合劑。
為了防止氣動施加粘合劑后滴落,在施加預(yù)定量的膠水后施加真空。這在組裝小零件時需要計量。傳統(tǒng)的涂抹器通常需要兩個閥門:一個用于施加真空,第二個用于施加正壓。壓電閥更準確、更快、更高效,只需一個閥門即可控制壓力和真空。
4、拋光晶圓。
壓電閥非常準確,可以快速達到預(yù)選的設(shè)定點。這使得它們非常適合需要精確計量少量空氣以精確加工工件的半導(dǎo)體應(yīng)用。例如,在拋光晶片時,每個晶片必須以精確控制的壓力壓在旋轉(zhuǎn)的拋光臺上。在該過程的一個步驟中,用不同的力將幾個隔膜環(huán)壓在晶片上。這些環(huán)必須在真空和壓力方面進行精確控制。壓電閥將這兩種功能結(jié)合在一個緊湊型閥門中。
5、醫(yī)用呼吸機。
用于醫(yī)療用途的移動呼吸機必須輕便、緊湊,并且可以使用電池供電長時間運行。許多患者在睡覺時依靠這些裝置獲取氧氣,因此機器應(yīng)盡可能減少噪音。壓電閥已經(jīng)在這些機器中使用,因為它們具有耐用性、準確性、小尺寸和功率需求以及安靜的操作。
6、外科眼科。
壓電閥控制用于白內(nèi)障手術(shù)的氣動工具,這是最常見的外科手術(shù)之一。這項手術(shù)是治療白內(nèi)障、進行性或與年齡相關(guān)的晶狀體混濁的唯一方法。在手術(shù)中,患者的渾濁晶狀體被移除并替換為人工人工晶狀體(IOL)。使用的手術(shù)工具是氣動操作的。壓電閥控制壓力和真空,對于處理各種液體至關(guān)重要,包括房水(眼睛中的天然液體)和替代溶液(輸液)。更換房水時,壓電閥可精確計量和調(diào)節(jié)流量。
7、汽車座椅舒適度。
壓電閥是一項艱巨的工作,它可以默默地填充和排空駕駛員和乘客下方的氣墊。這使乘坐更加舒適。內(nèi)置于座椅側(cè)板和靠背中的氣囊根據(jù)駕駛情況進行填充。發(fā)送到各種充氣枕頭的氣壓變化取決于轉(zhuǎn)向角、橫向加速度和行駛速度。例如,該系統(tǒng)在左轉(zhuǎn)時更多地為靠背右側(cè)的氣室充氣。由于其特性清單,壓電閥正在新舊產(chǎn)品中找到新用途。