壓阻式壓力傳感器的線性度應(yīng)該注意，在線性規(guī)范中，%FS（滿量程，最終值）最常被應(yīng)用。就測(cè)量值而言，即使制造商規(guī)范列出了一個(gè)非常小的值，盡管以%FS顯示，誤差也可能具有相當(dāng)大的分量。

　　在壓力測(cè)量單元中，線性度取決于幾個(gè)因素：

　　1.半導(dǎo)體電阻器必須足夠小并擴(kuò)散到硅膜片上的正確位置，

　　2.硅膜片必須干凈、邊緣鋒利且位置正確，

　　3.線性度是變化的，無論是測(cè)量正壓還是負(fù)壓，這意味著隔膜是凸出還是凹入（拉伸或壓縮負(fù)載），

　　4.硅膜片的直徑與厚度之比必須在特定范圍內(nèi)。非常薄的膜片會(huì)因疊加拉伸而變形：這種氣球效應(yīng)在用于較低壓力范圍的傳感器中會(huì)導(dǎo)致線性曲線的典型S形曲線（無法通過模擬補(bǔ)償方法進(jìn)行校正）。

　　5.對(duì)于非常厚的硅膜片，剛性固定在其邊緣的膜片的預(yù)期結(jié)構(gòu)不再可實(shí)現(xiàn)，因?yàn)槔鐚?duì)于1,000 bar傳感器，膜片的厚度是芯片本身的一半。