MEMS微壓差傳感器的核心部分是采用MEMS技術(shù)加工而成的壓阻式壓力傳感芯片。壓力傳感芯片由一個(gè)彈性膜片和四個(gè)集成在膜片中的電阻器組成。四個(gè)壓電電阻形成一個(gè)惠斯通電橋結(jié)構(gòu)。

　當(dāng)彈性膜片受到壓力時(shí)，惠斯通電橋?qū)⑤敵鲆粋€(gè)線性比例的電壓信號(hào)，壓力開(kāi)啟。沒(méi)有壓力變化，就沒(méi)有輸出，因此消耗的功率更少。

　MEMS微壓差傳感器集成壓力傳感元件和數(shù)字調(diào)理芯片，對(duì)漂移、靈敏度、線性參數(shù)進(jìn)行數(shù)字補(bǔ)償。該微壓差傳感器依靠電壓供電，輸出經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)和補(bǔ)償?shù)臉?biāo)準(zhǔn)電壓信號(hào)。適用于非腐蝕性純氣體的壓力測(cè)量。MEMS系列微壓差傳感器基于MEMS技術(shù)和SOP、DIP、COB封裝等，專為非腐蝕性純氣體的壓力測(cè)量而設(shè)計(jì)。

　MEMS微壓差傳感器憑借體積小、成本低等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)、汽車(chē)電子等領(lǐng)域。

　醫(yī)療領(lǐng)域，如電子血壓計(jì)、呼吸機(jī)、制氧設(shè)備、病人監(jiān)護(hù)儀等。

　用于汽車(chē)電子領(lǐng)域，如胎壓計(jì)、制動(dòng)助力器、動(dòng)力轉(zhuǎn)向、MAP傳感器等。

　小家電領(lǐng)域，如熱水器、洗碗機(jī)、凈水器、小保鮮盒等。

　可穿戴設(shè)備領(lǐng)域，如智能手環(huán)、手表等。

　用于健身器材領(lǐng)域，如按摩器、按摩椅、氣墊床等。

　其他領(lǐng)域，如真空泵、真空發(fā)生器、壓縮機(jī)、壓力表等。