壓阻式壓力傳感器是首批商業(yè)化的MEMS器件之一。與電容式壓力傳感器相比，它們更易于與電子設(shè)備集成，響應更線性，并且固有地屏蔽了射頻噪聲。然而，它們在運行期間通常需要更多功率，并且傳感器的基本噪聲限制高于其電容對應物。從歷史上看，壓阻式器件一直在壓力傳感器市場占據(jù)主導地位。
一、壓阻式壓力傳感器功能
傳感器中的電阻變化通常使用惠斯通電橋電路測量（如下圖所示）。這允許將傳感器電阻的微小變化轉(zhuǎn)換為輸出電壓。壓阻式應變儀測量是使用惠斯通電橋電路進行的需要向電橋提供激勵電壓。當沒有應變并且電橋中的所有電阻都平衡時，輸出將為零伏。壓力的變化將導致電橋中電阻的變化，從而產(chǎn)生相應的輸出電壓或電流。這是如何計算的，如下面的公式所示。
性能可以通過在電橋中使用兩個或四個傳感元件來提高，每對中的元件受到相等和相反的應變。這增加了輸出信號并且可以最小化溫度對傳感器元件的影響。
二、壓阻式壓力傳感器的傳感元件
應變儀元件可以由金屬或半導體材料制成。金屬應變片的電阻變化主要是由于材料幾何形狀（長度和橫截面積）的變化。在一些金屬中，例如鉑合金，壓阻效應可以將靈敏度提高兩倍或更多。在半導體材料中，壓阻效應占主導地位，通常比幾何形狀的貢獻大幾個數(shù)量級。
